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第一三八五章 光刻机的现状(中)

第一三八五章 光刻机的现状(中) (第2/2页)

纳斯达克网络科技股泡沫破裂是导火索,光刻机产业遇到193n波长的世界级难题只是诱因之一。
  
  信息产业部的专家预测,2000年国内的电脑销售将达到850万台,比1999年的650万台,增长31%;国内手机销售将达到3500万部,比1999年的2275万部,增长35%……
  
  依托国智半导体集团和曙光通讯集团强劲的产能和销售量,孙健不担心新定购的180n制程工艺的半导体生产线将陷入亏损。
  
  EUVLLc联盟中的Intel、otorola和It也是另一家美国光刻机公司SVG(硅谷集团)的股东,如今同GcA不是一个层次的竞争对手,被排斥在EUVLLc联盟之外,SVG同Nikon、ASL、canon一样下注157nF2激光路线。
  
  80年代初,GcA、Ultratech、bilt、perkin-Eler(p&E)等美国光刻机公司占据全球90%的光刻机市场份额,GcA一家就独占全球60%的市场份额;到了80年代中期,开始给GcA提供镜头,后来被GcA抛弃,通过仿造GcA光刻机和自研成长起来的Nikon,已经同GcA平起平坐,各占三成市场份额;Ultratech占约一成,canon、Eaton、p&E、日立等剩下几家,每家都不到5%,彼时ASL还未成立。
  
  1981年,bilt被应用材料公司收购,一年后解散了bilt部门。
  
  90年代,GcA、Ultratech和SVG等美国光刻机公司只剩下10%的市场份额,其中GcA和Ultratech占4-5%,SVG占1%。
  
  GcA在1985、1986期间损失1亿美元,被迫裁员70%,只有1000人;1988年,GeneralSignal以7600万美元收购了陷入财务困境的GcA。随后,Seatech资助GcA开发KrF步进器。1993年1月,GeneralSignal宣布其打算剥离其半导体设备公司。1993年5月,因为没有找到合适的买家,GeneralSignal打算关闭GcA,余建国代表AtIc找上门……
  
  GcA浴火重生。
  
  1988年,硅谷集团(SilinValleyGroup,简称SVG)在新任命的首席执行官papkendertorossian的领导下,将公司业务扩展到光刻领域,SVG曾试图从GeneralSignal的手里收购GcA,但SVG因为拿不出6800万美元现金,愿意以股票代替,交易失败,然而,SVG却成功地获得了p&E与Ib联合开发的下一代步进扫描系统icrascan,1989年4月,p&E宣布退出半导体设备业务;SVG于1990年还以2000万美元收购了p&E的光刻业务。
  
  1998年,Ultratech最终被管理层杠杠收购,退出了光刻机制造市场,成为一家专注于先进微电子工艺开发和制造解决方案提供商,其产品包括激光均匀化系统、氧化物化学气相沉积系统等先进工艺设备,广泛应用于集成电路、存储器件制造等领域。
  
  全球光刻机市场,一年只有500台左右,市场竞争激烈,优胜劣汰,如今全球只剩下5家,美国有GcA和SVG,日本有Nikon和canon,荷兰有ASL,中国有bSEc。
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